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500口徑

制冷機與真空泵

制冷機與真空泵

500口徑

500口徑

概要:
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詳情

  低溫泵(又稱冷泵)是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽氣的超高真空獲得設備。廣泛應用于半導體、集成電路、光學鍍膜、太陽能電池板、平板顯示器、光電子器件和真空電子器件的制造工藝過程,是集成電路制造工藝設備PVD、離子注入的關鍵零部件之一。低溫泵也用于各種空間環境模擬、高能物理、加速器、真空校准檢測等真空應用設備中。

  02專項成果:CP系列智能化低溫泵、一台氦壓縮機帶多台低溫泵的泵組系統。

 

500口徑低温泵

 

低温泵

 

标准500口徑低温泵性能参数表

 

參數名稱

500口徑

型號 Model

彎泵

———

直泵

CP500/ICP500

接口法兰Inlet Flange
(可根據用戶要求定制)

CF 500

ISO 500

ANSI 20in (NW )

极限压力Ultimate Pressure

10-7Pa

抽速Pumping Speeds (l/s)

For H2O

30000

For Air

10000

For H2

12000

For Ar

8400

通导 Throughput(Torr.l/s)                  

For Ar

12

抽气容量Capacity (Std.l)

For Ar

5500

For H2

35

空载降温时间 Cool Down Time (min)

210

 

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