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200口徑

制冷機與真空泵

制冷機與真空泵

200口徑

200口徑

概要:200口徑
概要:200口徑
詳情

  低溫泵(又稱冷泵)是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽氣的超高真空獲得設備。廣泛應用于半導體、集成電路、光學鍍膜、太陽能電池板、平板顯示器、光電子器件和真空電子器件的制造工藝過程,是集成電路制造工藝設備PVD、離子注入的關鍵零部件之一。低溫泵也用于各種空間環境模擬、高能物理、加速器、真空校准檢測等真空應用設備中。

  02專項成果:CP系列智能化低溫泵、一台氦壓縮機帶多台低溫泵的泵組系統。

 

200口徑低温泵

 

低温泵

 

标准200口徑低温泵性能参数表

 

參數名稱

200口徑

型號 Model

彎泵

CP200N/ICP200N

 

直泵

CP200/ICP200

接口法兰Inlet Flange
(可根據用戶要求定制)

CF 200

 

ISO 200

 

ANSI 8in (NW )

极限压力Ultimate Pressure

10-7Pa

抽速Pumping Speeds (l/s)

For H2O

4200

 

For Air

1500

 

For H2

2200

 

For Ar

1200

通导 Throughput(Torr.l/s)

For Ar

8.5

抽气容量Capacity (Std.l)

For Ar

1000

 

For H2

12

空载降温时间 Cool Down Time (min)

100

 

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